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美國 Cascade M150探針臺

 
 
單價 面議對比
詢價 暫無
發貨 上海付款后3天內
型號 M150
過期 長期有效
更新 2011-07-21 12:01
 

上海納騰儀器有限公司

企業會員第15年
資料未認證
保證金未繳納
  • 上海
  • 上次登錄 2018-07-20
  • 王晟 (先生)  
詳細說明
 儀器簡介:

    Cascade Microtech 的 M150測量平臺是一款結構簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺,解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設計,提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。M150 可提供三種預配置的探針臺,均針對您的應用及預算而優化。您可以通過確定最適合自己當前需要的 M150 模塊來設計特有的探針臺,或對自己現用的 M150 進行升級以滿足未來的測量需求。

    優越的應用靈活性使得M150能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測、MEMS和光學工程測量;M150也能用作一個靈活的探頭卡,實現wafer級的可靠性應用(WLR),能同時配備多達20個探針座。



技術參數:


基座 基本尺寸 含升高板的尺寸 面積 Z軸可移動范圍 
標準平臺 675mm x 675mm 825mm x 675mm 1960 cm2 5.5mm 
多功能平臺 825mm x 675mm 847mm x 758mm 2700 cm2

X-Y-θ平臺 XY范圍 最小步長 θ范圍 晶圓范圍 
真空運行平臺 155mm x 155mm 3μm +/- 60° 70mm 
標準平臺 155mm x 155mm 2μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 250mm 
快速運行平臺 155mm x 155mm 1μm +45°(CCW) , - 90°(CW) 275mm

DUT支架 卡盤 基底 平整度 三軸接頭 絕緣層 附加卡盤 
150mm卡盤 150mm真空卡盤 晶圓,陶瓷 <10μm Yes >100GΩ 2個獨立的卡盤,且還有一個附加卡盤 
PCB 150mm寬支架 PCB,移動裝置 NA NA NA NA

顯微鏡支架 移動范圍(XY) Z方向 最小步長 
臂式支架 >150mm x 150mm NA NA 
LAHS顯微鏡支架 150mm x 150mm 可選,最大為100mm 2μm



主要特點:

 1. 結構簡單、多功能;


2. 平臺配置可滿足DC、RF和亞微米測量;


3. 獨特的模塊化設計可根據客戶的需要配置和升級;

4. 量程大、可配探針配件;

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