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Imprint Nano納米壓印

 
 
單價(jià) 面議對(duì)比
詢價(jià) 暫無(wú)
發(fā)貨 上海付款后3天內(nèi)
型號(hào) YPL-NIL-SI400
過(guò)期 長(zhǎng)期有效
更新 2011-07-21 12:01
 

上海納騰儀器有限公司

企業(yè)會(huì)員第15年
資料未認(rèn)證
保證金未繳納
  • 上海
  • 上次登錄 2018-07-20
  • 王晟 (先生)  
詳細(xì)說(shuō)明
 儀器簡(jiǎn)介:

納米壓印的技術(shù)與工藝特點(diǎn),獨(dú)創(chuàng)性地設(shè)計(jì)和制備工作于低真空環(huán)境下,結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動(dòng)力的,通過(guò)壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過(guò)程,借助于多種靈活的自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計(jì)與運(yùn)用,實(shí)現(xiàn)壓印中的自動(dòng)找平調(diào)控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。



技術(shù)參數(shù):

YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng): 

溫度范圍從室溫到350攝氏度; 
壓力范圍從0到20個(gè)PSI(在4英寸晶元上); 
紫外曝光系統(tǒng); 
真空范圍從1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕; 
水冷系統(tǒng); 
樣品尺寸直徑最大4英寸; 
PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏; 
手動(dòng)裝載樣品和模板; 
自帶機(jī)器控制軟件; 
在軟件控制下可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)增加和釋放壓力; 
可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機(jī)。 

YPL-NIL-SI400 NANOIMPRINT SYSTEM 
*Thermal Imprinter
Temperature range of R.T. to 350℃ 
Pressure range of 0 to 20 atm 
*UV exposure system 
*Vacuum range of 1atm to 10-1 Pa 
* Sealed Bellows 
*Wafer/Mask Holders: maximum 4 inch dia. Samples: Smart Sample Holder for 
irregular shaped samples and piece parts. 
*Control electronics 
*PLC control and Touch Screen 
*Manual loading and unloading of wafers and masks 
*Proprietary Machine Control Software 
Including (A) SI400 nanoimprint system (B) training, Warranty, other, and (C) Options



主要特點(diǎn):

該納米壓印機(jī)利用紫外曝光或者熱壓固化實(shí)現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過(guò)各項(xiàng)功能與過(guò)程參量的優(yōu)化與篩選,通過(guò)遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實(shí)現(xiàn)納米壓印全過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與全自動(dòng)化控制。

典型用戶
采購(gòu)單位名稱 采購(gòu)時(shí)間 采購(gòu)臺(tái)數(shù) 備注
南京大學(xué) 2009-12-24 1 設(shè)備運(yùn)行近1年,情況良好。
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供應(yīng)便攜式XRD FemtoTools 微力傳感探針及其系列設(shè)備 FemtoTools 納米機(jī)械手 透射電鏡(TEM)用氮化硅薄膜窗口 氧化鋁納米多孔膜 納米壓印膠 白光共軛焦輪廓儀 激光掃描輪廓儀
 
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