主要用途：
具有高保真表面復(fù)現(xiàn)的表面粗糙度和輪廓的測(cè)量
精密位移測(cè)量
微機(jī)械零件的尺寸測(cè)量
冶金金相測(cè)量
振動(dòng)測(cè)量
厚度測(cè)量
直線度, 平面度，弧度的測(cè)量
主要特點(diǎn)：
非接觸式表面輪廓測(cè)量、反射性能的測(cè)量、垂直和橫向的尺寸測(cè)量
唯一的通過透鏡觀測(cè)描繪被測(cè)物體表面特征的傳感器
唯一的通過透鏡觀測(cè)描繪被測(cè)物體表面特征的傳感器
微型化的傳感器
分辨率1nm
可達(dá)2000µm大的測(cè)量范圍
光斑直徑< 1µm
適用已確定的制造業(yè)的幾乎所有粗糙度測(cè)量體系
連續(xù)聚焦
主要優(yōu)點(diǎn)：
在高保真輪廓復(fù)現(xiàn)下對(duì)3D結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速的非接觸式測(cè)量 測(cè)量結(jié)果與表面結(jié)構(gòu)無關(guān)
數(shù)據(jù)采集和評(píng)估可歸并到已有的軟件中
具有可組裝性，可組裝到已有的系統(tǒng)中